東莞市日和自動化設備有限公司
電話番号:86-0769 22460901
携帯電話:13929221177
住所:広東省東莞市道滘鎮万道路2号華科城創新島産業孵化園28棟
Add:Bldg 28,HuaKeCheng,Wan Dao Road No.2, DaoJiao Town, DongGuan, China
製品の詳細
製品の説明
日本語で紹介:
設備概要:カセット式ウエハーエッチング装置
製品:4インチ、6インチウエハ 機能:
第1槽:フッ酸(濃度25%)エッチング+
窒素バブリング+上下揺動。
第2槽:純水QDR+シャワー+上下揺動。
全自動液交換。自動カセット搬送機構。
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