超音波洗浄設備、自動化非標準洗浄設備などの研究開発、製造、マーケティング及びサービスが一体となったハイテク企業
サービスホットライン
東莞市日和自動化設備有限公司
電話番号：86-0769 22460901
携帯電話：13929221177
住所：広東省東莞市道滘鎮万道路2号華科城創新島産業孵化園28棟
Add：Bldg 28,HuaKeCheng,Wan Dao Road No.2, DaoJiao Town, DongGuan, China
製品の詳細
製品の説明
日本語で紹介：
設備概要： 浸漬式ウエットエッチング装置
製品： 6インチウエハー＆カセット
機能： 薬液中でウエハーを水平揺動し、 ウエハー表面をエッチングします。
第1槽：塩化第二鉄を使用したエッチング槽。
液温50±0.3℃。水平揺動周期 2.0±0.2秒 エッチング時間タイマー制御
平均エッチングレート 23A/sec. (Sigma 1A)
エッチング後パターン線幅ばらつき ±4um
(線幅30～170um)
第2槽：純水QDR 1次リンス槽。
第3、４槽：純水オーバーフロー ２次リンス槽。
特徴： お客様が開発した手動エッチングプロセスを 自動機で忠実に再現しました。(客先特許申請済）
キーワード：
薬液エッチング洗浄機
前のページ
次のページ
オンラインメッセージ
*注：情報を正確に記入し、通信を円滑にしてください。できるだけ早く連絡します
サービスホットライン：
東莞市道滘鎮万道路2 号華科城革新島産業孵化園28棟
携帯端末