東莞市日和自動化設備有限公司
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製品の詳細
MEMSウエハ、フォトマスク用CO2洗浄機
特殊ノズルからドライアイスパウダーを噴射してパーティクルや有機残渣を除去します。ESD対策、結露防止 ウエハーをカセットから自動取出し、収納
所属分類:
MEMSウエハ、フォトマスク用CO2洗浄機
製品の説明
設備概要: CO2スプレー精密洗浄機
製品: 4, 6, 8 インチウエハー,MEMS, フォトマスク,
機能: 特殊ノズルからドライアイスパウダーを噴射して
パーティクルや有機残渣を除去します。
ESD対策、結露防止
ウエハーをカセットから自動取出し、収納
キーワード:
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