キーワード:キーワード:産業用の超音波洗浄機、スクラブ洗浄機、薬液洗浄機、CO2洗浄機

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製品の詳細

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MEMSウエハ、フォトマスク用CO2洗浄機

特殊ノズルからドライアイスパウダーを噴射してパーティクルや有機残渣を除去します。ESD対策、結露防止 ウエハーをカセットから自動取出し、収納

所属分類:

MEMSウエハ、フォトマスク用CO2洗浄機


製品の説明

設備概要: CO2スプレー精密洗浄機

製品: 4, 6, 8 インチウエハー,MEMS, フォトマスク,

機能: 特殊ノズルからドライアイスパウダーを噴射して

パーティクルや有機残渣を除去します。

ESD対策、結露防止

ウエハーをカセットから自動取出し、収納

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